2003年     
    7月  離子源系統獲得了丹東市高新技術產品
    12月  順利的通過ISO9001：2000質量管理體系認證

2004年    
    2月  離子源系列產品獲得了高新技術產品證書
    7月  NV6200離子源系統被立項為科技型中小企業技術創新基金的重點項目
    10月  被授為丹東市民營科技企業

2005年    
    3月  離子源系列產品入選中國500最佳新產品
    4月  離子源系列產品通過了遼寧省新產品鑒定
    5月  NV6200離子源系統獲得國家火炬計劃項目證書
    5月  離子源系統通過了遼寧省科技成果鑒定
    8月  獲得省創信資金的扶持
    10月  被評為丹東市高新技術企業

2006年    
    1月  GSD系列產品獲得丹東市高新技術產品稱號
    4月  離子源系列產品列為國家重點新產品
    4月  NV6200離子源系統獲得丹東市科學技術進步二等獎
    9月  9500系列產品獲得丹東市高新技術產品稱號
    12月  獲得遼寧省科學技術進步三等獎
    12月  NV-6200離子源系統創信基金項目通過國家驗收

2007年     
    1月  獲得丹東市優秀民營高新技術企業
    4月  順利通過ISO9001：2000質量管理體系認證
    7月  被評為遼寧省高新技術企業
    7月  NV-6200 離子源系統獲遼寧省科技成果轉化項目認定
    12月  GSD系列產品被評為遼寧省優秀新產品

2008年    
    7月  獲遼寧省中小企業廳專精特新產品金獎
    11月  GSD離子源產業化項目獲科技部國家火炬計劃項目立項

2010年    
    9月  微波等離子體離子源系統獲遼寧省科技型中小企業技術創新資金立項

2014年    
    1月　通過ISO9001:2008質量管理體系認證

2015年    
    1月　成為中國半導體行業協會會員